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应用领域
● 亚微米尺寸精密定深刻蚀：实现亚微米级别的精准定深刻蚀，为材料表面功能化、多层结构制备等研究提供稳定可控的加工手段，保障实验数据的可靠性。
● 亚微米尺寸无锥度精密切割：完成亚微米尺度下的无锥度切割，满足微纳器件、微型结构的成型需求，助力微小尺寸功能单元的研究与开发。
● 亚微米尺寸高精度可控锥度制孔：在亚微米尺度下实现高精度可控锥度孔加工，为微流体、光学元件等领域的结构性能研究提供定制化加工支持。
● 各类异型结构纳米微孔高精度加工：精准加工各类异型结构的纳米微孔，支持纳米过滤、传感器、仿生结构等前沿研究方向的结构制备。
● 兼容各类材质的精密加工：可对金属、半导体、陶瓷、高分子材料等各类材质进行纳米级精密加工，打破材料限制，拓宽科研应用范围。
●高品质工业级飞秒可定制光源；
●多个维度光束整形及调控功能；
●全天候光束指向性及质量检测；
●的机械及热稳定设备基座；
●高动态响应多功能控制系统；
●全密封光路传输系统结构；
●多轴联动精密加工；
项目名称 | 技术参数 | ||
激光器 | 飞秒激光器（1030/515/343nm） | ||
行程 | ≥750mm×750mm×400mm | ≥50mm×50mm×10mm | |
定位精度（X/Y/Z） | <±0.4μm/<±0.4μm/<±2μm | <±0.2μm/<±0.2μm/<±0.5μm | |
加工能力 | 可加工材料类型 | 平面、柱面、球面、三维曲面等，可定制组合 | |
加工内容 | 定深刻蚀、无碳化切割、直通孔钻孔、纳米制备等，可定制组合 | ||
可加工孔型 | 直通孔、正锥孔、倒锥孔等；沉头孔、喇叭口+圆柱孔、燕尾型等复合孔 | ||
光斑直径 | ≥500nm、≥5μm、≥10μm、≥20μm等 ，可定制组合 | ||
最小可加工线宽 | 覆盖纳米-亚微米-微米 | ||
可加工孔径范围 | ≥200nm、≥1μm、≥5μm、≥10μm、≥20μm等 ，可定制组合 | ||
拼接精度 | ≤±200nm、≤±500nm、≤±1μm、≤±2μm等 ，可定制组合 | ||
