| MONO FEMTOSECOND LASER 电子显微镜光阑片飞秒激光微孔加工面向 TEM/SEM 光阑、圆形光阑、条形光阑、电子束限束微孔及高熔点金属微孔结构，支持8μm超小光阑孔、15μm无锥狭缝、圆孔、狭缝、异型孔和精密轮廓加工，实现低毛刺、低重铸层、低热影响和高一致性微孔成型。 |
| 8μm 超小光阑孔加工验证 | 15μm 无锥狭缝加工验证 | ±1μm 孔径与尺寸精度控制 | 98% 高圆度微孔成型 | 低毛刺 低重铸层、低热影响 |
电子显微镜光阑片是 TEM、SEM 等电子光学系统中的关键限束结构，常用于控制电子束通过范围、筛选束流、限制杂散电子或辅助成像与衍射分析。微孔、狭缝和异型开口并不是普通通孔，而是电子束路径中的功能结构。
对光阑片而言，孔径、圆度、狭缝宽度、边缘直线度、孔口毛刺、重铸层和颗粒残留都会影响束流边界、散射噪声、真空洁净度和长期使用稳定性。飞秒激光微孔加工适合用于钼、钨、钽等高熔点金属薄片的微孔、狭缝和精密轮廓加工。
TEM 圆形光阑适用于透射电镜圆形光阑、限束微孔和电子束通过孔，重点控制孔径一致性、圆度、边缘洁净度和低毛刺。 | TEM 条形光阑适用于条形孔、狭缝和长槽结构，重点控制狭缝宽度、边缘直线度、开口一致性和低热影响。 |
SEM 光阑 / 限束片适用于扫描电镜限束片、电子束孔径片和异型开口结构，关注孔位、边缘质量、颗粒残留和真空环境适配。 | 高熔点金属微孔件适用于钼片、钨片、钽片等高熔点金属材料的微孔、狭缝、异型孔和精密轮廓加工。 |
高熔点金属材料难加工钼、钨、钽等材料适合高温、真空和电子束环境，但在微孔、狭缝和薄片结构加工中，对热影响、毛刺、重铸层和边缘完整性要求极高。 | 光阑孔边缘不能有明显毛刺光阑片孔口就是束流边界，熔融边缘、重铸层、翻边或飞溅残留可能影响电子束散射、背景噪声和后续清洗。 |
超窄狭缝对直线度要求高5.7μm、15μm等狭缝不仅要加工出开口，还要控制两侧边缘平直、入口出口一致、低锥度或无锥度，并避免局部熔边。 | 薄片结构容易热变形光阑片通常为薄片精密零件，如果热输入过大或应力控制不好，可能造成翘曲、孔边形貌变化和装配稳定性下降。 |
圆形光阑孔支持8μm级超小光阑孔、36μm孔、100μm孔及更大规格圆孔加工，重点控制孔径、圆度和孔口边缘。 | 无锥狭缝 / 精密狭缝支持5.7μm级精密狭缝、15μm级无锥狭缝、条形孔、长槽和窄缝结构加工。 | 异型开口可根据图纸加工异型孔、复合孔和精密轮廓，满足电子束路径控制和特殊限束结构需求。 |
多孔光阑适用于六孔光阑、多孔限束片和多孔阵列结构，关注孔径一致性、孔位稳定性和孔口质量。 | 微孔阵列适用于多孔光阑、阵列限束片和分析仪器微孔零件，关注孔径一致性和孔位稳定性。 | 薄片精密轮廓支持薄片外形、定位槽、边缘轮廓和局部开口加工，适用于电子显微镜耗材与分析仪器零部件。 |
低热影响，减少重铸层风险飞秒激光超短脉冲作用时间极短，可减少热扩散带来的熔边、重铸层、翻边和热变形问题。 | 适配高熔点金属可用于钼、钨、钽等高熔点金属微孔和狭缝加工，减少传统加工在微小尺寸下的工具磨损与机械应力问题。 |
超小孔与精密狭缝能力支持8μm超小光阑孔、5.7μm精密狭缝、15μm无锥狭缝、±1μm精度与高圆度等光阑片关键结构验证。 | 兼顾尺寸、边缘与洁净度围绕孔径、孔形、狭缝宽度、边缘洁净度、低毛刺、低重铸层和整片一致性进行综合控制。 |
以下样品展示单色科技在钼片光阑孔、钼片条形光阑、钽片多孔光阑和光谱仪精密狭缝方面的飞秒激光加工能力，可从孔径、圆度、狭缝宽度、边缘质量、毛刺和重铸层等维度评估工艺适配性。
| 1 需求评估确认材料、厚度、孔径、孔型、狭缝宽度、孔数、孔位、轮廓尺寸和检测要求。 | 2 工艺方案设计根据材料和孔型要求，设计飞秒激光能量参数、扫描路径、夹具和检测方案。 | 3 样品加工完成光阑片、限束片、微孔件或狭缝结构样品加工。 |
| 4 显微检测反馈检测孔径、孔位、圆度、狭缝宽度、边缘毛刺、重铸层和孔壁质量。 | 5 工艺优化根据装配、清洗、真空使用或测试反馈优化孔形、边缘和表面状态。 | 6 批量导入提供小批量代加工、工艺包开发或飞秒激光微加工设备导入方案。 |
常见结构包括圆形微孔、条形孔、狭缝、异型开口和精密轮廓，应用于 TEM、SEM 等电子显微镜及电子束相关设备中的限束、筛选和束流控制结构。
飞秒激光适合钼、钨、钽等高熔点金属薄片的微孔、狭缝和异型孔加工，也可根据客户需求评估其他金属或非金属材料。
光阑片的孔口边缘会直接参与束流边界控制。毛刺、翻边、重铸层、颗粒残留或边缘不稳定，可能影响束流散射、噪声水平、真空洁净度和长期使用稳定性。
可以。飞秒激光不仅适用于圆孔加工，也适用于条形孔、狭缝、异型开口和精密轮廓加工。具体效果需要结合材料、厚度、狭缝宽度和边缘质量要求进行工艺评估。
可以。单色科技可提供电子显微镜光阑片和高熔点金属微孔件的工艺验证、样品打样、小批量加工，也可根据客户需求提供设备和产线导入方案。
