金属流道刻蚀

从单孔极限到大面积微孔阵列，真正决定加工价值的并不只是“孔有多小”，而是孔径、孔壁、锥度、位置与批量一致性能否被稳定控制。在精密制造领域，“飞秒激光能打出多小的...

什么是 ESC 静电卡盘凸台微结构静电卡盘是半导体前道设备中用于晶圆夹持、固定和温控的关键零部件，广泛应用于刻蚀、沉积、离子注入、PVD、CVD 等设备中。而决...

半导体微加工正在面临哪些新挑战半导体微加工的难度，并不是单一维度的提升，而是多个要求同时变严。首先，材料越来越难加工，陶瓷、碳化硅、钨钢、钼、钽、氮化镓、PI ...