解决方案

PRESCRIPTION

精密微孔加工解决方案

Femtosecond Laser Micromachining Solution

精密微孔加工解决方案

面向金属、陶瓷、钨钼、PI/PDMS 薄膜、半导体零部件、医疗器械、喷孔片和过滤片等高精度应用,提供飞秒激光微米级打孔、精密钻孔、异型孔、斜孔、沉头孔、微孔阵列及管材微孔加工方案。


喷嘴飞秒激光异形孔精密微加工.jpg
0.02–2.5mm
孔径范围
12:1
更大深径比
≤3μm
方孔 R 角
What We Solve

什么是精密微孔加工

精密微孔加工是指在微米级尺度下,对金属、陶瓷、玻璃、高分子薄膜、半导体材料及复合材料进行小孔、深孔、异型孔、斜孔、沉头孔和微孔阵列加工的工艺。

与普通钻孔不同,精密微孔加工更关注孔径控制、孔形质量、孔壁状态、边缘洁净度、热影响和材料损伤。对于医疗器械、半导体设备零部件、喷孔片、过滤片、光阑片和微流控结构而言,微孔往往承担过滤、喷射、导流、吸附、检测或连接功能。

单色科技基于飞秒激光超精密微加工技术,为客户提供从工艺验证、小批量试制到定制化装备交付的完整微孔加工解决方案。

核心能力

微米级打孔适配 10μm 级至毫米级微孔需求,需结合材料与孔型进行工艺评估。
复杂孔型成型支持异型孔、斜孔、沉头孔、倒锥孔、零锥度孔及复合孔型。
多材料适配覆盖金属、陶瓷、钨钼、玻璃、蓝宝石、PI、PDMS、半导体材料等。
Micro-Hole Structures

单色科技可实现哪些微孔结构?

根据材料、厚度、孔径、孔型和应用需求,提供多种飞秒激光微孔加工方案。

01

圆孔 / 通孔

适用于过滤片、喷孔片、光阑片、限流片、流体控制部件和电子精密零件。

02

方孔 / 异型孔

适用于陶瓷基板、探针板、精密模具、微孔栅网、测试治具和特殊功能结构件。

03

斜孔 / 角度孔

适用于喷嘴、阀体、雾化结构、燃油喷射孔、流体导向孔和复杂曲面微孔加工。

04

沉头孔 / 盲孔

适用于金属薄片、钼片、钽片、医疗器械、精密连接结构和半导体零部件。

05

微孔阵列 / 群孔

适用于过滤膜、微孔栅网、匀气盘、喷孔板、光阑片和高密度流体控制结构。

06

管材微孔

适用于医疗导管、高分子管材、PI 管材、介入器械和微创器械零部件。

Precision Capability

微米级打孔能做到什么水平?

微米级打孔能力与材料、厚度、孔径、孔深、孔型和应用要求密切相关。不同材料对激光吸收、热扩散、脆性、硬度和加工路径的响应不同,因此实际加工方案需要结合图纸与样品进行工艺验证。

单色科技可围绕 10μm 级至毫米级孔径范围,开展小孔、深孔、异型孔、微孔阵列和高深径比孔加工。对于探针卡、喷孔片、过滤片、半导体零部件和医疗器械等应用,可根据孔径、孔距、孔壁质量、深径比和材料特性制定对应的飞秒激光加工方案。

0.02–2.5mm

星旋系列加工孔径范围

2mm

更大加工深度

12:1

更大深径比

≤±1μm

微孔孔径精度参考

Why Femtosecond Laser

为什么选择飞秒激光微孔加工?

飞秒激光属于超短脉冲加工技术,适合高精度、低热影响和复杂材料微孔加工。

低热影响

热扩散小,可降低熔化、碳化、热变形和微裂纹风险,适合陶瓷、玻璃、钨钼、高分子薄膜和热敏材料。

非接触加工

无需刀具接触材料,可避免刀具磨损、断刀、机械挤压和应力变形问题。

孔壁质量更高

有助于减少重铸层、熔渣和孔口毛刺,适合高质量孔壁与洁净边缘要求。

多材料适应

可加工金属、陶瓷、玻璃、蓝宝石、硅、碳化硅、PI、PDMS、高分子薄膜及多层复合材料。

复杂孔型能力

通过多轴联动、光束调控和焦点控制,实现异型孔、斜孔、沉头孔、倒锥孔和零锥度孔。

从验证到交付

支持工艺可行性研究、样品验证、小批量加工和定制化飞秒激光装备交付。

Materials

可加工材料                                 覆盖多类工程材料和先进制造材料,适用于高硬度、高脆性、热敏感、超薄及柔性材料加工

金属及合金

不锈钢、铜、钛合金、钼、钨、钽、钨钢、铂铱合金

硬脆材料

氮化硅、氧化铝陶瓷、氧化锆陶瓷、玻璃、石英、蓝宝石

半导体材料

硅、碳化硅、陶瓷基板、探针卡相关材料、复合基材

高分子材料

PI、PDMS、PET、高分子管材、柔性薄膜、PCB 相关材料

钨钼材料

钨片、钼片、光阑片、精密狭缝、限流片、栅网

Applications

典型应用场景

面向医疗、半导体、喷孔、过滤、光学检测和航空航天等高端制造场景。

01

医疗器械微孔加工

医疗过滤片、导管微孔、金属针管、NiTi 管材、电极微孔、微创器械微结构和介入器械零部件。

02

半导体零部件微孔加工

探针卡、陶瓷基板、静电卡盘、匀气盘、限流片、气浮孔板、真空吸附孔板和测试治具。

03

喷孔片与流体控制

喷油嘴、滤嘴、喷孔板、阀体微孔、斜孔喷嘴、雾化结构和流体导向孔。

04

过滤片与微孔阵列

不锈钢过滤片、微孔栅网、安全滤网、过滤膜、匀气盘和高密度群孔结构。

05

光阑片与精密狭缝

钨钼光阑、精密狭缝、限流片、栅网、微孔板和科研仪器微结构件。

06

航空航天与精密制造

高温合金、钛合金、复杂曲面孔、特殊异型孔和高可靠性微孔结构。

Process Comparison

精密微孔加工方法对比

不同工艺都能加工孔,但适用材料、孔型能力、热影响和综合成本不同。

加工方式适合场景主要优势主要限制
机械钻孔常规孔、较大孔径、易切削材料成本低、效率高、工艺成熟微型刀具易磨损和断裂,微米级孔加工受限
电火花加工导电硬质材料、小深孔不受材料硬度限制仅限导电材料,可能有重铸层和热影响
化学蚀刻薄金属片、过滤片、网片和二维平面图形批量薄片件成本较低容易侧蚀,孔壁垂直度和复杂三维结构控制受限
飞秒激光微孔加工高精度微孔、异型孔、斜孔、沉头孔、微孔阵列、硬脆材料、柔性薄膜和非导电材料低热影响、非接触、无明显重铸层、材料适应性强、数字化路径灵活单孔成本高于普通工艺,厚材料深孔需评估效率
End-to-End Services

从工艺验证到方案交付

围绕客户材料、图纸、孔型和应用要求,提供飞秒激光微孔加工方案评估与验证。

01

提交需求

提供材料、厚度、孔径、孔型、数量和图纸。

02

工艺评估

评估材料响应、孔型难点、精度要求和加工路径。

03

样品验证

验证孔径、孔壁质量、边缘状态、热影响和效率。

04

方案确认

形成小批量加工、工艺优化或设备配置建议。

05

交付优化

围绕效率、良率、稳定性和量产需求持续优化。

Talk to an Expert

需要评估精密微孔加工方案?

如果您正在寻找精密微孔加工、微米级打孔、飞秒激光微孔加工、异型孔加工、斜孔加工、沉头孔加工或微孔阵列加工方案,欢迎联系单色科技。

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