飞秒激光材料剥离：攻克阶梯式测量探针加工难题

微米级阶梯式探针：高精密检测的核心“触角”
微米级阶梯式探针是高精密器件特性测量的关键部件，广泛应用于表面轮廓仪、三坐标测量机等高端检测设备。这种设计是为了在保证整体刚性的同时，针尖足够细，可以检测纳米精度的微器件特性。
其制造任务极具挑战性，从一根直径0.2mm的碳化钨针尖上上，阶梯式进行材料去除，加工直径仅为0.1mm、直径50μm的同心阶梯针尖。

对于如此细长且高精度的测针，任何形式的机械接触都无法避免振动与形变；任何热量的输入，都将影响针尖扫描测量能力以及使用寿命。

飞秒激光技术：无接触、无热加工方案

我们采用先进的飞秒激光技术结合运动平台，解决了这个极限制造挑战。飞秒激光是一种完全无力、无热的微米级精度加工工艺，能确保只在需要去除材料的位置逐层、逐点地精准“剥离”材料，不会对其他区域产生损伤。
1、无机械应力： 彻底杜绝了针状工件的振动与形变，完美保证了针尖与针杆的亚微米级同心度，保障测量准确性。

2、无热损伤： 材料被瞬间气化，形成锐利、干净、无毛刺的阶梯过渡区，针尖轮廓完美，曲率半径高度一致。