微米精度：飞秒激光创造掩膜板微纳级结构

掩膜版是一种用于制造微细结构的工具，通常由透明的基材和覆盖在其表面的光敏材料组成。在制造过程中，光敏材料会在受到光照的区域发生化学反应或变化，从而形成所需的结构。通过掩膜版，可以实现对微结构的控制和高效生产。

飞秒激光在掩膜版上可以进行微细加工，包括微孔、微槽、微凸起等微结构的刻蚀或雕刻。

其优势主要体现在以下几个方面：

1.高精度加工：飞秒激光脉冲极短，能够实现纳米级别的加工精度，可以制造出极为精细的微结构。

2. 非接触加工：飞秒激光加工过程中无需接触工件表面，避免了因接触引起的损伤或变形，适用于对微细结构进行非接触式加工。

3. 无热影响：飞秒激光脉冲时间极短，加工过程中产生的热影响非常小，避免了材料的热损伤和变形，适用于对光敏材料进行精密加工。

4. 灵活性和复杂结构加工：飞秒激光加工技术具有高度的灵活性，可以实现对复杂的微结构和微细图案的加工，满足不同掩膜版的设计需求。

5. 高效率加工：飞秒激光加工速度快，加工效率高，可以实现大规模生产，适用于工业化生产过程中的微细结构制造。

飞秒激光在掩膜版上的加工具有高精度、非接触、无热影响、灵活性和高效率等优势，适用于微细结构制造和微加工领域。