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星轨系列 | 薄材一体化三轴飞秒激光精密切割设备
单色科技星轨系列面向平面薄材的微米级精密切割与微结构成型,采用三轴飞秒激光微加工平台,适用于金属薄片、钨钼、硅基材料、PI/PET 薄膜等超硬、超薄及热敏材料,实现低热影响、无毛刺、高光洁度的精密加工,满足半导体、电子、医疗、光学与精密制造领域的薄材加工需求。
产品描述

ML-TRACK / 星轨系列

薄材一体化飞秒激光精密切割设备

面向平面薄材微米级加工的三轴振镜式飞秒激光微加工平台,适用于钨钼、硅基材料、金属薄片、陶瓷薄片、PI/PET薄膜等超硬、超薄及热敏材料的高品质精密切割。

星轨系列 ML-TRACK 是单色科技面向平面薄材精密加工开发的薄材一体化飞秒激光精密切割设备。设备以三轴振镜式微加工平台为核心,针对线宽、轮廓精度、边缘质量和热影响控制要求较高的薄片材料加工场景而设计。

不同于以孔型成型为核心的旋切类设备,星轨系列更侧重平面薄材的微米级轮廓加工、微细线宽切割和复杂图形快速成型。通过飞秒激光超短脉冲加工,材料可在极短时间内完成去除,降低传统热加工中的熔边、碳化、毛刺和微裂纹问题。

设备可用于光学狭缝、光阑、栅网/载网、微机械结构、精密电极、铍铜探针、PI/PET盲孔与通孔、硅基钻孔与开槽等应用,适合科研验证、小批量打样以及对薄材切割质量要求较高的高端制造场景。

设备定位

平台类型            三轴平面薄材微加工平台
核心工艺            飞秒激光微切割、微米级轮廓成型、薄材精密加工
加工对象            平面薄片材料、超薄金属、硬脆材料、热敏薄膜
典型关键词            薄材飞秒激光切割、无毛刺切割、微米级切割、三轴激光设备



产品特点

PRODUCT FEATURES

面向薄材精密切割的核心能力

星轨系列围绕平面薄材的微米级线宽、复杂轮廓、低热影响和高光洁度边缘进行设计,适合对材料热损伤、毛刺、变形和侧壁质量敏感的精密加工任务。

01

三轴振镜式薄材微加工平台

面向平面薄片材料的轮廓切割、线宽控制和微结构成型,适合在较大平面幅面内进行高精度图形加工。

02

飞秒冷加工,降低毛刺与碳化

采用飞秒激光超短脉冲加工方式,降低热扩散影响,减少切割边缘的熔融、碳化、毛刺和微裂纹。

03

微米级线宽与复杂图形复现

适合尖角、圆弧、狭缝、网格、异形轮廓等二维结构加工,将复杂设计稳定转化为薄材零件。

04

高光洁度侧壁

可降低熔边、重铸层和碳化风险,获得更光洁的切割侧壁,适合光学、电子、半导体和精密仪器部件。

05

多材料兼容

适用于钨、钼、不锈钢、铍铜、硅基材料、陶瓷、PI/PET薄膜及多类复合材料的精密切割。

06

稳定光路与平台结构

全密封光路传输结构配合稳定机械基座,降低环境波动对加工结果的影响,支持长时间稳定加工。

典型应用方向

光学狭缝、光阑、栅网/载网、微机械结构、精密电极、铍铜探针、PI/PET薄膜微结构、硅基钻孔与开槽、薄片异形轮廓切割。



产品参数

    TECHNICAL SPECIFICATIONS

    面向平面薄材的飞秒激光精密切割与微结构成型,兼顾微米级线宽、低热影响和高光洁度切割边缘。

    设备系列星轨系列 ML-TRACK
    设备定位薄材一体化飞秒激光精密切割设备
    平台类型三轴振镜式平面薄材微加工平台
    激光器飞秒激光器,1030nm / 515nm / 343nm
    加工幅面平面幅面 400mm × 400mm
    定位精度X/Y/Z 轴均可达正负1微米
    工件类型平面薄片材料
    适配厚度2mm 以内材料
    最小线宽3微米
    表面粗糙度Ra0.1 以内
    尺寸精度正负0.5微米以内
    定深刻蚀深度精度正负0.1微米以内
    综合加工精度正负3微米以内
    典型材料钨、钼、不锈钢、铍铜、硅基材料、陶瓷、PI/PET薄膜等
    典型应用光学狭缝、光阑、栅网/载网、微机械结构、精密电极、铍铜探针、PI/PET薄膜微结构、硅基钻孔与开槽
    400mm        平面加工幅面
    3微米        最小线宽
    Ra0.1        表面粗糙度
    0.5微米        尺寸精度


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