星云系列 ML-NEBULA 是单色科技面向多功能、高精度研发场景开发的飞秒激光纳米结构多维研发设备。设备集成飞秒激光光源、复合光路、多维光束调控、纳米级定位平台与高稳定性机械结构，可实现纳米、亚微米及微米尺度下的精密微纳加工。

设备适用于需要频繁切换加工任务、验证新结构、新材料与新工艺的科研与研发场景，支持表面处理、定深刻蚀、无碳化切割、直通孔钻孔、纳米结构制备及透明材料内部直写等多类加工任务。

依托纳焦耳级脉冲能量控制、光场调制和多轴联动能力，星云系列可在平面、柱面、球面、三维曲面及异形器件上实现高精度加工，适用于光学器件、光子芯片、微流控芯片、传感器部件、功能表面和材料科学等方向的研发验证。

设备定位

多功能微纳加工平台

支持表面微结构制备、内部直写、纳米级线宽刻写、微孔钻孔、定深刻蚀与无碳化切割等多类研发任务。

复合光路与光场调制

支持多光路、多聚焦方式复合加工，可将单一光束转化为多焦点阵列或定制化光场形态。

纳米级定位与稳定平台

采用纳米级高精度定位平台，配合稳定机械结构、热稳定设计与光束质量监测系统，提升实验加工重复性。

纳焦耳级能量控制

通过纳焦耳级脉冲能量控制，实现低热影响微加工，减少热扩散、边缘烧蚀和碳化风险。

多维运动控制

兼容平面、柱面、球面、三维曲面及异形器件加工，适合科研场景中的复杂样品形态验证。

全尺度加工能力

加工精度覆盖纳米、亚微米和微米量级，满足从基础研究到应用开发的多尺度微纳结构制备需求。