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轴承微结构激光刻蚀设备
主要针对曲面、复杂型面零部件的超精细冷加工蚀刻,采用飞秒激光刻蚀设备,适用于ITO、FTO、氧化锌、氧化锆、氧化钛、氧化镍NiOx、金、银、碳粉等导电金属、氧化物材料激光刻蚀,可实现高温合金、金属、非金属、特别是复合材料表面的微结构加工,也可针对玻璃、硅片、氧化锆陶瓷等材料超细线宽激光刻蚀、划线、刻槽、微结构刻蚀。
产品描述

主要针对曲面、复杂型面零部件的超精细冷加工蚀刻,采用飞秒激光刻蚀设备,适用于ITO、FTO、氧化锌、氧化锆、氧化钛、氧化镍NiOx、金、银、碳粉等导电金属、氧化物材料激光刻蚀,可实现高温合金、金属、非金属、特别是复合材料表面的微结构加工,也可针对玻璃、硅片、氧化锆陶瓷等材料超细线宽激光刻蚀、划线、刻槽、微结构刻蚀。

 


产品特点

采用飞秒激光器,超短脉冲加工几乎无热传导,适用于任意有机&无机材料的高速钻孔,可实现复杂曲面的空间角度微结构加工;

孔壁整齐、无毛刺、无重铸层,无微裂纹和冶金缺陷;

更高的单脉冲能量,更高的加工精度,可对几乎任何固体材料实现精细加工;

对材料无选择性,无应力。




产品参数
    技术参数型号
    激光器红外/绿光/紫外飞秒
    功率20W
    更大加工幅面700*700mm²
    重复定位精度X &Y: ≤±0.1 μm;Z: ≤±3 μm
    视觉定位精度≤±0.15 μm
    综合加工精度≤0.5 μm
    定深刻蚀精度≤1 μm
    最小线宽0.2 μm ~ 2 μm可调
    设备总功率15kW
    环境温度22°C±3°C
    相对湿度30%~65%,不结露


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